PVD真空电镀工艺的基本步骤

2021-12-20 10:18:01 108

一、预处理工艺

褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。

二、真空电镀工艺

抽真空,加热烘烤,漏率测试,轰击清洗,真空电镀,冷却出炉。

三、后处理工艺

清洁:确保真空电镀前产品表面清洁,表面越新鲜,真空电镀质量越好;

抽真空:抽真空室内的残余气体。

加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残留气体的释放。

压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率。

轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面。

真空电镀:沉积膜层。

冷却:避免工件氧化变色。

为什么要冷却?

涂装工艺完成后,真空室内温度高达500℃。如果不冷却,就会放气。由于与空气反应,未涂膜的高温工件表面会氧化成蓝色。

如何进行冷却?

1.高阀关闭,真空计关闭,真空室与泵组隔离;

2.当操作人员按下N2vent按钮时,预先连接的氮气将通过N2充气阀充入真空室。当真空室压力达到压力开关预设压力时,N2充气阀关闭。

3.真空室内充入大量N2,真空度很低,更有利于传热。因此,冷却速度远快于不充冷却N2,缩短了冷却时间,提高了生产效率。实际冷却时间可从原来的90分钟缩短到60分钟。

4.由于氦的导热率较高,冷却氦的冷却速度快于氮,但成本也较高。

5.国外设备气体的循环冷却,国外设备的快速冷却程序可以缩短50%的冷却时间。

为什么要测试压升率?

真空环境条件是影响终真空电镀质量的重要因素。真空电镀前,必须进行压升率测试,以确保真空环境条件符合真空电镀标准。

如何进行压升率测试?

在我们的自动真空电镀过程中,压升率测试是自动进行的。

当真空室内真空达到工艺设定的底部真空时,进入压升率测试步骤。

系统会自动关闭高阀。此时,真空室与泵组隔离,真空室内压力升高。在一定时间内(一般为1分钟),如果压力不超过设定的报警值,系统将自动执行下一步程序并进入真空电镀步骤。如果压力超过设定的报警值,系统将有报警提示。此时,操作人员应根据操作过程再次抽真空、加热和烘烤,然后重复压升率测试,直至压升率满足真空电镀条件。