真空电镀中真空系统的作业原理是什么?

2021-08-02 14:36:55 178

   真空电镀中真空体系的作业原理是什么?

  真空电镀主要指一类需要在较高真空度下进行的电镀。主要思路是分红蒸发和溅射两种。需要电镀的被成为基 片,具体包含很多种类,包含真空离子蒸发。

  1,粗抽泵(统称机械泵)他的排气口,直接排放到大气,但极限(能力)小。设计(1E0~大气压)。

  2,罗茨泵,必须在排气口接一个机械泵,作业设计(5E-2~1000Pa),如果没到达作业设计(1000Pa)以上的真空度,运转罗茨泵,使负载大,烧坏罗茨泵的。

  3,分子泵(油涣散泵):以涣散泵为例,作业设计(1E-7Pa~5pa),排气口压力高于5Pa(正常9E-1Pa),低于,涣散泵不起作用,还会使涣散泵油氧化。

  4,粗抽阀,是机械泵开启后,开启粗抽阀。