真空电镀掉膜有那几个方面?

2021-07-26 15:00:04 197

  真空电镀时产生掉膜的原因许多也很凌乱。处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:

  1、表面清洁度

产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时刻长点。

  2、清洗过程中的问题

镀前清洗不到位,或替换了清洗液。

  3、工艺的问题

工艺参数是否有改变,在镀膜时刻和电流上做适当调整。

  4、靶材的问题

钛靶是否中毒,检查和替换。

  5、真空腔是否漏气

进行一次捡漏。

  6、产品表面氧化

氧化的原因许多,可以自行判断处理。